RION/日本理音液體粒子計數器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。
光源 激光二極管泵/固態晶振鐳射(波長:532nm,額定輸出:500mW)
鐳射材料 藍寶石,PFA
流量 10ml/分鐘
粒徑范圍(4通道) ≥0.05µm,≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm標配
可選通道 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.05~0.2µm
粒子數量 15000顆/ml
電源 DC12V(由KE-40B1供應)
尺寸.重量 147×272×442mm,大約:12kg